| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 4197-2640BOETRI05/01 | EN线3D打印设备 | 2套 | 本设备主要用于【玻璃基板侧边金属线路打印以及金属线路保护封装材料打印】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
| 4197-2640BOETRI05/02 | 湿法清洗系统 | 1套 | 本系统主要包括晶圆清洗与刻蚀的湿法制程单元以及用于对切割后Chip进行边与倒角及清洗单元等。 本系统能够适用0.35mm~1.5mm的玻璃、蓝宝石、碳化硅、砷化镓基板和硅片基板,以及100-1000μm的玻璃、蓝宝石、碳化硅、砷化镓、硅芯粒。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
| 4197-2640BOETRI05/03 | 物理气相沉积设备 | 1套 | 本设备主要用于【大马士革结构工艺中制备薄膜,包括氮化钽、金属钽和金属铜】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
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