招标公告 *. 招标条件

本招标项目快速退火设备招标人为中国电子科技集团公司第四十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为***%。该项目已具备招标条件，现对快速退火设备进行国内公开招标。

*. 项目概况与招标范围

*.* 招标编号：***************

*.* 招标项目名称：快速退火设备。

*.*数量: *套

*.* 主要内容：快速退火设备要求为 国产全新设备 ，用于*/*英寸***基晶圆气态源扩散后，进行快速退火处理进一步提高载流子浓度。主要流程：通过机械臂将晶圆置于反应腔室内的工艺基座上，晶圆正面朝上。加热源采用模块化卤素灯阵列，配合高精度温度传感器，实现晶圆表面对称、均匀且快速的升温与降温。配置惰性气体/反应气体吹扫系统，腔室采用密闭结构，避免空气进入。工艺完成后，机械臂将晶圆传送回晶圆盛放单元。包括工艺腔、全自动传送系统、快速升温系统、快速降温系统、真空机组、工艺气体管路、计算机控制系统*个模块，具体要求详见招标文件第五章供货要求。

*.* 交货地点： 重庆市沙坪坝区西永微电园西永大道**号 。

*.* 交货期： 合同生效后***天。

*. 投标人资格要求

*.* 依法设立的证明： 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

*.* 业绩要求： 投标人须提供 ****年*月*日 至今已签订的本次 投标设备同型号或类似 的销售业绩 ≥*台 ；须提供 设备采购合同复印件、发票或有效的付款证明材料 复印件；合同内容须体现 合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页 等能反映业绩要求的主要内容； 类似业绩须是应用于***、****等***-*族化合物半导体晶圆工艺，须提供类似业绩证明材料，包括合同资料或技术协议或验收材料或合同甲方出具的证明材料或合同甲方主营业务的网站截图等 。未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

*.* 其它要求 ：本项目 不接受代理商 投标。

*.*本次招标 不接受 联合体投标。

*.* 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

*. 招标文件的获取

*.*凡有意参加投标者，请于 ****年**月**日至****年**月**日 **时(北京时间)，登录中招联合招标采购平台（网址：***.********.***.**,注册操作咨询电话***-********）购买并下载招标文件，现场不予受理。

*.* 招标文件每套售价***元（从中招联合招标采购平台下载标书款电子发票），售后不退。

*. 投标文件的递交

*.*投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为 ****年**月**日* *时**分 ，地点为 圣荷酒店会议室（重庆市沙坪坝区西永大道**号） 。 招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。

*.*逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

*. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台和中招联合招标采购平台发布。

*. 监督部门

本招标项目的监督部门为： 法务与风控审计部 。

*. 联系方式

招标人名称：中国电子科技集团公司第四十四研究所

地址：重庆市沙坪坝区西永大道**号

联系人：吴先生

电话： ***-********

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角**号大楼

售卖联系人：李经理

电话：***-********

项目负责人：唐玲

电子邮件： **********@******.***

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