| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 4197-2340SHJT0002/137 | 浅沟道隔离化学机械研磨机、接触孔钨金属化学机械研磨机 | 2台、1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/141 | 晶圆清洗机 | 2台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/146 | 高密度等离子浅槽隔离氧化硅化学气相沉积机、前道氮化硅化学气相沉积机、前道等离子液源氧化硅化学气相沉积机、无定型碳化学气相沉积机加腔体、高深宽比互联介电层化学气相沉积机加腔体、铝金属物理沉积机 | 2台、2台、1台、2腔、1腔、2台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/147 | 大束流离子注入机、高温快速退火机 | 2台、3台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/148 | 电子线宽量测机(不含3D)、电子线宽量测机(含3D)、缺陷检查电子显微镜、亮场缺陷检测机改造升级 | 3台、4台、1台、1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
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