| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 干法刻蚀设备 | 2 | 干法刻蚀设备 | 干法刻蚀设备 |
| 2 | 多晶硅干法刻蚀机 | 1 | 多晶硅干法刻蚀机 | 多晶硅干法刻蚀机 |
| 3 | 金属干法刻蚀机 | 1 | 金属干法刻蚀机 | 金属干法刻蚀机 |
| 4 | CD测试仪 | 1 | CD测试仪 | CD测试仪 |
| 5 | 化学气相淀积设备(PECVD) | 1 | 化学气相淀积设备(PECVD) | 化学气相淀积设备(PECVD) |
| 6 | 化学气相淀积设备(PECVD) | 1 | 化学气相淀积设备(PECVD) | 化学气相淀积设备(PECVD) |
| 7 | 干法去胶机 | 2 | 干法去胶机 | 干法去胶机 |
| 8 | 步进光刻机 | 2 | 步进光刻机 | 步进光刻机 |
| 9 | 晶圆颗粒测试仪 | 1 | 晶圆颗粒测试仪 | 晶圆颗粒测试仪 |
| 10 | 槽式湿法清洗系统 | 1 | 槽式湿法清洗系统 | 槽式湿法清洗系统 |
| 11 | 涂胶显影系统 | 1 | 涂胶显影系统 | 涂胶显影系统 |
| 12 | 氧化扩散炉6寸 | 3 | 氧化扩散炉6寸 | 氧化扩散炉6寸 |
| 13 | 低压化学气相沉积(LPCVD)设备 | 1 | 低压化学气相沉积(LPCVD)设备 | 低压化学气相沉积(LPCVD)设备 |
| 14 | 6英寸高温扩散炉 | 2 | 6英寸高温扩散炉 | 6英寸高温扩散炉 |
| 15 | 4英寸LPCVD | 1 | 4英寸LPCVD | 4英寸LPCVD |
| 16 | 投影光刻机 | 1 | 投影光刻机 | 投影光刻机 |
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