序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-1740JHICC001/15 | 12吋高阶无图形晶圆微粒缺陷检测机、12吋无图形晶圆微粒缺陷检测机 | 3台/2台 | 本设备主要用于高阶无图形晶圆微粒缺陷检测机、本设备主要用于图形晶圆微粒缺陷检测机 | RMB:20000 OR USD 3400 |
0714-1740JHICC001/16 | 12吋晶圆边缘检测机 | 1台 | 本设备主要用于12吋晶圆边缘检测机 | RMB:5000 OR USD 850 |
0714-1740JHICC001/18 | 12吋晶圆厂膜厚量测机台(厚膜) | 5台 | 本设备主要用于12吋晶圆厂膜厚量测机台(厚膜) | CNY10000 / USD1650 |
0714-1740JHICC001/19 | 12吋晶圆厂膜厚量测机台(薄膜) | 3台 | 本设备主要用于12吋晶圆厂膜厚量测机台(薄膜) | CNY15000 / USD2500 |
0714-1740JHICC001/21 | 12英吋X射线光电子能谱仪量测机台 | 1台 | 本设备主要用于12英吋X射线光电子能谱仪量测机台 | CNY5000 / USD850 |
0714-1740JHICC001/22 | 12吋晶圆亮场图形缺陷检测机、12吋晶圆暗场微粒图形缺陷检测机 | 1台/1台 | 本设备主要用于晶圆亮场图形缺陷检测机、本设备主要用于晶圆暗场微粒图形缺陷检测机 | RMB:20000 OR USD 3400 |
0714-1740JHICC001/23 | 12吋厂黄光堆栈量测机 | 5台 | 本设备主要用于12吋厂黄光堆栈量测机 | RMB:15000 OR USD 2500 |
0714-1740JHICC001/24 | 12吋晶圆应力及相位差量测系统 | 1台 | 本设备主要用于12吋晶圆应力及相位差量测系统 | CNY5000 / USD850 |
0714-1740JHICC001/68 | 全反射X射线荧光分析仪 | 1 | 本项目用于全反射X射线荧光分析仪(TXRF) | CNY1000/USD165 |
0714-1740JHICC001/69 | 12英吋整合于化学机械研磨机的厚度量测机台 | 4 | 该设备符合晋华12吋厂工艺使用,可针对控片或产品进行化学机械研磨后的厚度项目的非接触式量测, 避免破坏产品并确认注入工艺的质量, 以达到芯片出产后的要求及其可靠度。系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,表现稳定,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
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