| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 4197-2340SHJT0002/131 | 缓冲层氧化膜炉管、合金化工艺低压立式炉管、铝刻蚀机 | 4台/1台/1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/142 | 前后道膜厚量测设备、微粒测量设备、套刻量测设备、OVL高阶服务器 | 7台/4台/2台/1套 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/144 | 晶圆回收清洗-FEOL | 1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/145 | 晶圆回收清洗-BEOL(铜) | 1台 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
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