上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2018-12-18在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-184022155005/05
招标项目名称:等离子体多晶硅刻蚀机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	等离子体多晶硅刻蚀机	1	Main tool 1set WPH>20pcs/H
2	等离子体聚合物刻蚀机	1	1.Bosch polymer低温快速去除，无残留（≦4 minutes @ 180 deg C, or ≦ 7 minutes @ 150 deg C） 2.无形貌变化和侧壁损伤 CD loss <5%
3	晶圆测试探针机	5	晶圆测试自动探针机台,兼容normal thin wafer(100um-200um)和Taiko wafer
4	晶圆测试机	1	1.电流分辨率要求fA 2.多site并行测试能力>=4site Bias support 100V
5	等离子体多晶硅刻蚀机	1	1.实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min 2.主刻蚀比氧化层选择比大于150:1 Chamber 与chamber 差异小于5%。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。With independent legal person qualification, the corresponding business scope. Bidders should have formal registration office, repair and spare parts bonded library. Within the territory of China shall be responsible for the experienced maintenance engineers and specialized technical application support engineer.
2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。Provided by the machine equipment needed in the industry have experience of installation.
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-12-18
招标文件领购结束时间:2018-12-25
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号16楼
招标文件售价:￥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-01-08 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼开标大厅
6、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
联系人:蔡娟
联系方式:+86-21-38610000
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号
联系人:应秋祺 王鼎 潘永亮
联系方式:86-21-32557721
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):