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12吋晶圆金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统等中标结果公告(1)

必联网 发布时间:2018-12-05 15:56
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  • 项目编号: 0613-184025134107
  • 公告类型: 中标结果公告
  • 截止时间:
  • 招标机构: 上海机电设备招标有限公司
  • 招标地区: 安徽省
项目名称:12吋晶圆金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统等
项目编号:0613-184025134107
招标范围:12吋晶圆 金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统、浅沟槽隔离的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统、氮化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统、二氧化硅薄膜沉积之半大气压化学沉积系统、钨金属栓塞之化学气相沉积系统、铝金属之物理气相沉积系统、钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统、钛与氮化钛之金属粘着层的物理气相沉积系统
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:合肥晶合集成电路有限公司
开标时间:2018-11-29 10:00
公示时间:2018-11-29 14:24 - 2018-12-04 23:59
中标结果公告时间:2018-12-05 15:56
中标人:Applied?Materials?South?East?Asia?Pte.?Ltd.
制造商:Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
制造商国家或地区:新加坡
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